設備・技術情報

当社設備の特徴

当社の設備は、国内でも数少ない大物のPVD処理設備を有しています。

その他、洗浄設備、真空ガス抜き設備に加え豊富な表面処理設備を備え、下処理から表面処理まで一貫して社内で行っています。

対応表面処理技術	PVD処理、DLC処理、ラジカル窒化処理
PVD処理	最大対応サイズ：φ900×1,200Lmm (折り返しコートにより、2,000Lmmまで対応可能)
DLC処理	最大対応サイズ 縦型：φ950×850Lmm 横型：φ750×4,000Lmm
対応実績	自動車、半導体、医療、食品、電子部品、FA機器、

主要設備一覧

PVD装置

・カソードアーク方式イオンプレーティング装置
・ホローカソード(HCD)イオンプレーティング装置

DLC装置

・イオン化蒸着コーティング装置
・プラズマCVDコーティング装置
・ハイブリッド方式コーティング装置

窒化装置

・ラジカル窒化装置

前処理設備

・炭化水素系洗浄装置
・有機溶剤脱脂洗浄装置
・真空脱ガス炉
・ブラスト／WPC処理装置
・各種研磨装置

検査設備

・ロックウェル硬度計
・マイクロビッカース硬度計
・表面粗さ計
・スクラッチ試験機
・カロテスター(膜厚測定装置)
・ボールオンディスク摩擦摩耗試験機
・SEM（走査電子顕微鏡）